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原子能沉積

ALD

將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?/h3>

原子能沉積

PA200d

單腔型原子能沉積(ALD)

外形尺寸：1000mm×700mm×1000mm
腔室尺寸：Φ300mm×150mm
襯底規(guī)格：4-12寸單片
溫度： RT-400 oC

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