鈣鈦礦研發(fā)平臺集成了定制化蒸鍍系統(tǒng)、高精度激光劃線設(shè)備、磁控濺射技術(shù)裝置、狹縫涂布機、原子層沉積（ALD）設(shè)備、閃蒸技術(shù)及旋涂設(shè)備等多臺先進設(shè)備，全面覆蓋了濕法、干法及干濕結(jié)合的主流鈣鈦礦制備技術(shù)路線。平臺支持最大襯底尺寸為220mmx220mm，不僅能夠滿足單結(jié)電池的研發(fā)需求，還具備開展疊層電池工藝技術(shù)研究的能力，為實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的鈣鈦礦太陽能電池提供了堅實的硬件支撐。
京公網(wǎng)安備 11011402011250號 京ICP備06030537號-1
