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1. 請查看真空泵泵體上的按鈕開關(guān)是否打開，“0  OFF” “1  ON”；

2. 查看真空泵的斷路器是否跳閘。

1. 在從工作氣氣源到設備的管路有泄漏，氣源處鋼瓶口漏氣、閥塊上進氣管接口漏氣；

2. 高真空擋板閥氣體泄漏；

3. 高真空擋板閥的壓力管出現(xiàn)漏氣，依次檢查；

1. 過渡艙艙門未關(guān)嚴；

2. 腳踏是否被東西壓??；

3. 電磁閥塊上<凈化柱抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡住；

4. 電磁閥塊上<箱體抽氣閥>是否被雜質(zhì)卡住。

1. 設備本身密封出現(xiàn)問題，保壓檢漏；

2. 過渡艙艙門未關(guān)嚴；

3. 腳踏是否被東西壓??；

4. 凈化系統(tǒng)管路電磁閥被雜質(zhì)卡住。