PA200d
PA200d
外形尺寸：1000mm×700mm×1000mm
腔室尺寸：Φ300mm×150mm
襯底規(guī)格：4-12寸單片
溫度： RT-400 oC
真空室 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 反應(yīng)腔材質(zhì)為316L不銹鋼，底座整塊材料加工，腔體表面拋光后電解； 密封方式：采用燕尾槽密封并配備耐腐蝕密封圈； 樣品臺尺寸：標(biāo)準(zhǔn)8英寸腔體，直徑為200 mm；設(shè)備本底真空優(yōu)于3 Pa；設(shè)備漏率≤ 5×10-10Pa·m3/s； 樣品臺加熱溫度最高可達(dá)400 oC，采用PID控制方式，控制精度為±1 oC； 反應(yīng)腔配備自動(dòng)充氣及過壓保護(hù)功能。 | |
| 體積 | 0.03m3 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 描述 | 采用 “機(jī)械泵”真空系統(tǒng): | |
| 真空泵 | 規(guī)格：旋片真空泵, 配帶油霧過濾器, 帶氣鎮(zhèn)控制 流量：20m3/h, 雙基片,真空度< 2 x 10-3 mbar 或干泵(可供選擇) * 可選配干式真空泵 | |
| 工作電壓 | AC230V/50-60Hz,10A或AC115V/50-60Hz,20 A（可供選擇） | |
| 抽速 | 從大氣抽至9×10-4Pa≤30min（短時(shí)間暴露大氣，沖入干燥氮?dú)夂箝_始抽氣） | |
| 閥門 | 前GDQ-40高真空氣動(dòng)擋板閥； | |
| 真空測量 | 進(jìn)口壓力傳感器，檢測范圍：5×10-4~1000 mbar； | |
| 真空測量 | 部分采用金屬密封，部分采用氟橡膠圈密封； | |
前驅(qū)體輸送系統(tǒng) | ||
| 描述 | 前驅(qū)體數(shù)：一次同時(shí)可處理多達(dá) 5 個(gè) ALD 前體源，三種有機(jī)金屬或其他金屬控制源，最高可達(dá)150℃，兩個(gè)氧化劑/還原劑源，如水，雙氧水，氧氣或氨氣等； | |
| 描述 | 1) 常溫源1路，加熱源2路，預(yù)留1路；預(yù)留1個(gè)臭氧接口； 2) 前驅(qū)體輸送管路加熱溫度范圍RT-250 oC，控制精度±1 oC； 3) 管路及接頭均采用316 EP級電解拋光不銹鋼材料，所有氣體管路連接處采用金屬VCR密封；載氣管路采用N2或者Ar氣體，通過質(zhì)量流量控制器控制；配備惰性氣體自清洗系統(tǒng)，在控制界面中可以設(shè)置自動(dòng)清洗的次數(shù)。 | |
常溫源 | 閥門 | 配備三孔ALD閥門(響應(yīng)時(shí)間＜5 ms)，源手動(dòng)閥 |
| 源瓶 | 不銹鋼源瓶(50 mL) | |
加熱源 | 閥門 | 配備三孔ALD閥門(響應(yīng)時(shí)間＜5 ms，閥體內(nèi)置直徑為1/8英寸加熱器，溫度范圍RT-200 oC，源手動(dòng)閥 |
| 源瓶 | 不銹鋼源瓶(50 mL)，源瓶溫度范圍RT-200 oC | |
| 控制系統(tǒng) | ||
| 描述 | 采用windows操作平臺和cotrl1000控制系統(tǒng)，采用IPC+network技術(shù)，實(shí)現(xiàn)整機(jī)主要部件的參數(shù)化設(shè)置、實(shí)施實(shí)時(shí)監(jiān)控及故障智能診斷以及膜厚全自動(dòng)監(jiān)控，有自動(dòng)和手動(dòng)控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在PC上使用軟件控制；提供真空系統(tǒng)、工藝設(shè)置、充放氣系統(tǒng)等友好人機(jī)操作界面； | |
| 特點(diǎn) | 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)配方編輯、保存、讀取等功能；所有ALD閥門具備自動(dòng)排空功能，所有管線具備自動(dòng)清洗功能； 系統(tǒng)設(shè)有高級界面，可進(jìn)行溫度PID參數(shù)自整定、前驅(qū)體標(biāo)簽修改等； 系統(tǒng)可實(shí)時(shí)顯示加熱狀態(tài)、閥門開關(guān)狀態(tài)、壓力曲線、鍍膜進(jìn)度； 系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)測動(dòng)力氣體壓力值、系統(tǒng)壓力值、加熱狀態(tài)、閥門開關(guān)狀態(tài)等，當(dāng)發(fā)生異常時(shí)觸發(fā)報(bào)警并做出響應(yīng)，報(bào)警日志可進(jìn)行回看。 | |
選配 | ||
描述 | 臭氧發(fā)生器/粉末沉積盤/手套箱集成/ QCM /尾氣處理裝置。 | |
| 其他說明 | ||
| 產(chǎn)品認(rèn)證 | ISO9001認(rèn)證、CE認(rèn)證、UL認(rèn)證 | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維修 | |
| 應(yīng)用注意事項(xiàng) | 詳情參閱說明書危險(xiǎn)、警告、注意等條款 | |
| 包裝尺寸(W×D×H) | 1000×720×700mm | |
| 重量 | 500KG | |
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