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PA500e

鈣鈦礦研究 / OLED研究 / 固態(tài)電池研究 / 可集成手套箱

  • PA500e研發(fā)型鍍膜機(jī)

    腔室尺寸 ≤500mm(L)×500mm(W)×600mm(H)

    極限真空 ≤3×10-5Pa 保壓12小時 壓強(qiáng)≤5Pa

    膜厚均勻性 ≥95% 重復(fù)性 ≥95% 速率穩(wěn)定性≥95%

    基片尺寸 ≤156mm×156mm ≤30×30mm 數(shù)量4片

    有12個mask位置 每個基片對應(yīng)3個位置

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