旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:500-10000rpm
增減速率設(shè)置范圍:10rpm/s-2000rpm/s
加熱范圍:RT-200℃
聚四氟真空吸盤(pán)和鋁制吸盤(pán),規(guī)格:1英寸,2英寸,4英寸
描述 | 全自動(dòng)多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實(shí)現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個(gè)過(guò)程自動(dòng)完成;可同時(shí)交替涂覆兩種薄膜,兩種液體各交替多500次,實(shí)現(xiàn)千層薄膜的涂覆。本機(jī)可用于酸、堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配不同尺寸的真空吸盤(pán),可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤(pán),利用真空吸附的方式固定基片。 |
安裝條件 | 1、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。 2、氣:壓縮氣體貨自行規(guī)定的保護(hù)氣體 3、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×900mm,承重50kgs以上 |
主要參數(shù) | 1、電源:主機(jī)24V 蠕動(dòng)泵24V 加熱:220V 50HZ 2、功率:總功率1200W 加熱:1350W 3、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:500-10000rpm(*小增量為1rpm。) 4、運(yùn)行程序:該機(jī)每次涂膜可分AB兩組運(yùn)行程序完成,每組程序分為六段運(yùn)行,每組程序可循環(huán)500次,兩組程序*多可涂1000層薄膜。 5、增減速率設(shè)置范圍:10rpm/s-2000rpm/s(增量為10的整數(shù)倍) 6、加熱功能: 加熱范圍:RT-200℃(腔體采用耐熱耐腐蝕的聚四氟材質(zhì))(碳纖維加熱管) 7、聚四氟真空吸盤(pán)和鋁制吸盤(pán),規(guī)格:1英寸,2英寸,4英寸。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 8、產(chǎn)品規(guī)格: ·尺寸:旋涂機(jī)450x400x580mm;蠕動(dòng)泵270x310x280mm; ·重量:50kg |