勻膠機(涂膠機)用于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆，具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，保證涂膠厚度的一致性和均勻性，30年來產(chǎn)品精心打造，獨家技術(shù)國內(nèi)市場占有率第一。
KW-4A勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的晶圓底物旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復(fù)性。
技術(shù)參數(shù)及要求：
　　基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圓片，最大 100×100mm2方片
　　轉(zhuǎn)速：250-9000RPM
　　旋涂設(shè)置：任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
　　轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<±1%
　　旋涂均勻性：<1%
　　旋涂工藝階段：6 段
　　旋涂時間：單步工藝 0-1800s，可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)
　　整機尺寸(長寬高)：210mm×280mm×248mm
　　裸機尺寸(長寬高)：210mm×280mm×155mm
　　電機功率：40W
　　適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料