PA36e
PA36e
腔室尺寸 360×500mm(H)
極限真空 ≤3×10-5Pa 保壓12小時 壓強≤5Pa
膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95%
基片尺寸 ≤100mm×100mm
有9個mask位置 每個基片對應3個位置
全自動控制軟件
真空鍍膜室 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 不銹鋼鐘罩+304不銹鋼真空室底座 尺寸: Φ300×H415mm； | |
| 體積 | 0.03m3 | |
| 真空系統(tǒng) | ||
| 描述 | 采用 “分子泵+機械泵”高真空系統(tǒng): | |
| 分子泵 | 抽速：1200L/S，真正的準無油真空系統(tǒng)，采用下抽氣，避免了分子泵的抽氣弱點，提高了抽速；分子泵保修5年，提供損壞直接換新服務。 * 可選擇進口分子泵 | |
| 真空泵 | 規(guī)格：旋片真空泵, 配帶油霧過濾器, 帶氣鎮(zhèn)控制 流量：36 m3/h (21 cfm), 雙基片,真空度< 2 x 10-3 mbar 或干泵(可供選擇) * 可選配干式真空泵 | |
| 工作電壓 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供選擇） | |
| 抽速 | 從大氣抽至9×10-4Pa≤30min（短時間暴露大氣，沖入干燥氮氣后開始抽氣） | |
| 閥門 | 前級閥/旁路閥：GDQ-40高真空氣動擋板閥； | |
| 真空測量 | “兩低一高”（兩只電阻規(guī)測量低真空，一只電離規(guī)測量高真空） 數(shù)顯復合真空計，測量范圍從1×105Pa到1×10-5Pa；由PC顯示和控制，可實現(xiàn)操作互鎖聯(lián)動。 * 可選配進口寬量程真空變送器 | |
| 真空測量 | 部分采用金屬密封，部分采用氟橡膠圈密封； | |
| 基片臺 | ||
| 描述 | 放置樣品的載物臺采用304不銹鋼制造，基片置于蒸發(fā)源正上方(全自動升降功能)，根據(jù)基片尺寸設計工裝，方便用戶固定樣品?？啥ㄖ埔惑w化高精度刻蝕掩膜板； | |
| 旋轉 | 采用步進電機控制驅動旋轉，磁流體密封，電機和磁流體同軸，不會產(chǎn)生丟轉、爬行等情況，步進電機控制精確，轉速范圍0-30rpm連續(xù)可調； | |
| 升降 | 采用步進電機控制驅動旋轉，磁流體密封，控制精確，高度范圍0-100mm連續(xù)可調； | |
| 掩膜 | 抽屜式結構，承載最大小于120×120mm 樣品，配日本SMC氣動基片擋板，電氣聯(lián)動全自動控制。 | |
鍍膜源 | ||
有機蒸發(fā)源 | 結構 | 采用有機升華束源爐，每支蒸料可裝 5CC，上部有擋熱板，防止蒸發(fā)舟熱量向上輻射，蒸發(fā)源之間設有防溫度干擾裝置（方便取放，方便清洗維護）。 |
| 蒸發(fā)溫度 | PID智能溫度控制，可加熱至600℃，控溫精度±1℃； | |
| 電源 | PID智能溫控蒸發(fā)電源，帶有蒸發(fā)源測溫和功率調整系統(tǒng)，可以進行實時測溫與控溫，溫度控制精度±1℃。 | |
數(shù)量 | 2臺 | |
有機蒸發(fā)電源 | 輸出功率 | 0~800W |
| 控制 | RS-485接口，電源功率在0-最大功率之間連續(xù)可調。 | |
數(shù)量 | 2臺 | |
| 控制系統(tǒng) | ||
| 描述 | 采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統(tǒng)，采用IPC+network技術，實現(xiàn)整機主要部件的參數(shù)化設置、實施實時監(jiān)控及故障智能診斷以及膜厚全自動監(jiān)控，有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在PC上使用軟件控制；提供真空系統(tǒng)、工藝設置、充放氣系統(tǒng)等友好人機操作界面；在工控機上可通過配方設置參數(shù)，實現(xiàn)對程序工藝過程和設備參數(shù)的設置、儲存和打印。 | |
| 特點 | 能夠有效解決鍍膜的準確、穩(wěn)定和可靠性。 完善的程序互鎖，完備的防誤操作設計及保護；系統(tǒng)缺水、過流過壓等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施。 采用豐富I/O接口設計，充分滿足擴展與外連設備的功能需求。 顯示控制鍍膜機的艙門開啟/關閉。 鍍膜工藝、工序、膜厚，方便并且保存打印。 | |
膜厚監(jiān)測、控制系統(tǒng) | ||
| 描述 | 采用石英晶振膜厚控制儀，水冷膜厚探頭安裝在基片臺附近，工控機連接。膜厚儀用以實時監(jiān)測鍍膜速率和終厚，精度可達±1A（0.1nm）,實時信息反饋給工控機 ,若鍍膜達到設置厚度,可自動控制電源,停止鍍膜,實現(xiàn)自控膜厚之目的。 | |
| 范圍 | 監(jiān)測厚度范圍：1?～99μ9999?，分辨率1?；監(jiān)測速率范圍：0.1?～9999.9?.S/s，分辨率0.1? | |
特點 | 鍍膜工藝、工序、膜厚設置均在PC上，可實現(xiàn)全過程自動化控制，可在PC上設定鍍膜工藝，記錄數(shù)據(jù)。 | |
水冷系統(tǒng) | ||
描述 | 冷卻水路8進8出，總進水采用水壓繼電器控制。 總進水與出水接1P制冷循環(huán)水機，控溫范圍10–25 ℃。給靶、金屬源、分子泵、磁流體提供穩(wěn)定的制冷循環(huán)水，保證設備穩(wěn)定運行。 | |
| 水冷系統(tǒng) | 冷卻水路8進8出，總進水采用水壓繼電器控制。 總進水與出水接1P制冷循環(huán)水機，控溫范圍10–25 ℃。給金屬源、分子泵、磁流體提供穩(wěn)定的制冷循環(huán)水，保證設備穩(wěn)定運行。 | |
| 其他說明 | ||
| 產(chǎn)品認證 | ISO9001認證、CE認證、UL認證 | |
| 質保期 | 一年質保期，終身維修 | |
| 應用注意事項 | 詳情參閱說明書危險、警告、注意等條款 | |
| 包裝尺寸(W×D×H) | ||
| 重量 | ||
? 2025 伊特克斯惰性氣體系統(tǒng)(北京)有限公司 All rights reserved
京公網(wǎng)安備 11011402011250號 京ICP備06030537號-1
