ATTO10一體鍍膜機

Atto10手套箱是經過驗證的一種手套箱蒸鍍一體機,堅固耐用的多功能設計標準方案。該系統(tǒng)可以手動和自動操作,具有廣泛的沉積儀器選配,包括:電子束蒸發(fā)器,射頻和直流濺射源,低溫有機蒸發(fā)器和金屬蒸發(fā)器。還有許多系統(tǒng)選項可用,如 石英晶體監(jiān)測,高真空負載鎖和加熱,冷卻,旋轉或靜態(tài)樣品臺。本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和Lab2000手套箱系統(tǒng)集成而成,手套箱是一種與大氣隔絕的密閉環(huán)境的箱體,各種裝配操作等工作能夠通過手套在箱體里面進行,手套箱內部無水、無氧,只充滿了高純惰性氣體,實現(xiàn)鍍膜機和手套箱的無縫連接,解決鍍膜產品被水氧分子污染的問題。



   
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ATTO10一體鍍膜機

產品特點

既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。

該系統(tǒng)具有高真空壓力和抽空時間測試。

具有先進編程能力的行業(yè)最佳軟件控制系統(tǒng),系統(tǒng)的靈活性,

可以被配置為濺射系統(tǒng),電子束系統(tǒng),OLED系統(tǒng),熱蒸發(fā)系統(tǒng)或這些過程的任何組合。

可以集成各種光學和光譜技術,并將系統(tǒng)集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中。

產品應用

半導體工業(yè)中MOCVD技術、微電子半導體、OLED/PLED開發(fā)與生產、鋰離子電池開發(fā)與生產、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽能電池的研發(fā)。



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