GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

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GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

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GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設(shè)有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設(shè)備。

功能特點
  • 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。
  • 采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。
  • 真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個CF150閘板, 閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、5個CF35法蘭(1個安裝電離規(guī),4個備用,便于,安裝其他設(shè)備)。
  • 在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。
  • 1
  • 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板,有效地避免蒸發(fā)時相互污染。
  • 樣品臺安裝在腔體的頂部。
  • 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀,精度為10?。
  • 可使用循環(huán)水冷機。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥。
工作臺落地式,占地面積2m2以上
通風(fēng)裝置需要
輸入單相AC220V,50Hz/60Hz,功率
蒸發(fā)輸出電壓AC0-8V連續(xù)可調(diào),最大蒸發(fā)電流200A,最大蒸發(fā)功率
真空腔

?300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

1?1?1

腔門?200mm
觀察窗?95mm,采用專用密封圈密封
真空泵高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s
真空度5.0×10-6torr(泵開啟40min后)
極限真空度5.0×10-7torr(加熱溫度為100℃-150℃)
漏率5.0×10-7Pa/s
樣品臺

?140mm

1

蒸發(fā)舟與樣品臺間距260mm
冷卻水需量15L/min
尺寸650mm×1200mm×1600mm
重量600kg

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